강의 컨텐츠 2-11) MEMS, 공정, 접합 기술 (daum.net) 2-11) MEMS, 공정, 접합 기술 기판들의 접합, 서로 붙이기 웨이퍼, 혹은 기판 접합 기술은 미리 가공된 실리콘 기판이나 유리 기판 등을 서로 접합하여 물리적, 그리고 전기적으로 연결시키는 것을 말합니다. 이러한 기판 접 blog.daum.net 2-12) MEMS, 공정, 접합 기술, 정전 열 접합 (daum.net) 2-12) MEMS, 공정, 접합 기술, 정전 열 접합 정전 열 접합, 전기장으로 붙이기 먼저, 정전 열 접합(electrostatic bonding)을 살펴보죠. 이는 1969년에 '발견'되었다고 표현하는데, '발견'이라 함은 체계적인 연구 과정을 통하여 개발하기보다는 무 blog.daum.net 9월 16일..