2006년에 배성진 연구원(현재 삼성디스플레이 근무)은 유기물과 복합 무기물로 구성된 하이브리드 박막을 사용하여 OLED를 박막 봉지하였으며, 이를 통하여 소자 수명의 개선 효과를 논의한 바 있습니다.
그리고, 2007년에 최진환박사(현재 삼성디스플레이 근무)는 칼슘의 산화 반응을 이용하여 유기/무기 박막을 이용한 다층 봉지막이 습기와 산소의 침투에 저항하는 정도를 정량적으로 평가할 수 있는 방법을 제시하였습니다. 이를 통하여 배리어막의 투습률을 더욱 정밀하게 측정할 수 있었으며, 측정 데이터의 신뢰도를 높혔죠.
2009년에 역시 최진환박사(현재 삼성디스플레이 근무)는 연잎의 소수성(hydrophobic)을 모방하여 임프린팅 기법으로 배리어용 탄성 폴리머인 PDMS의 표면에 서브 마이크론 크기의 미세한 돌기들을 형성, 표면 에너지를 낮춤으로써 습기를 밀어내도록 하였습니다. 이를 통하여 방수용 배리어 필름의 아이디어를 마련하였죠.
이와 연계하여서 역시 2009년에 최진환박사(현재 삼성디스플레이 근무)는 나미브 사막의 딱정벌레의 등껍질을 모방하여 소수성 미세 돌기와 친수성 실리콘 산화막 영역을 함께 갖는 배이러 구조를 생각하였으며, 이를 통하여 방수형 배리어 필름에서 수분의 이동을 유도하였습니다. 보다 향상된 방수 효과를 얻을 수 있었죠.
최진환박사(현재 삼성디스플레이 근무)는 2010년에 상온에서 RF 마그네트론 스퍼터링 공정을 이용하여 8~10nm 두께의 실리콘 산화막과 알루미나 박막을 교대로 적층, 고수준의 투습률을 달성하였습니다. 다층 박막은 증착될 표면을 형상을 잘 따라갔으며, 막의 층수를 늘릴수록 투습률은 더욱 낮아졌죠. 이러한 공정 및 다층 박막 구조는 유기 전자 소자들의 봉지에 선택적인 옵션으로 다양하게 적용이 가능합니다.
그리고, 2011년에 송은호박사(현재 삼성디스플레이 근무)는 플라스틱 기판의 양면에 배리어 필름을 코팅하고 칼슘 테스트를 적용, 투습률을 평가함으로써 평가에 소요되는 시간을 단축하고, 측정 신뢰도도 향상시켰습니다. 이에 더하여 칼슘 테스트를 통한 유연 플라스틱 기판용 배리어 필름의 투습률 측정을 위한 새로운 모델과 실험식(empirical equation)을 제시하였죠.
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