공부와 생각들/디스플레이 공부

5-8) OLED, 제조, 증착

BK(우정) 2019. 12. 29. 07:28

 

OLED 제조용 증착기

 

TFT 백플레인이 설치되고, 이 위에 양극으로 사용될 ITO 막의 증착과 패터닝이 된 기판은 OLED 소자용 유기물 증착을 위해 증착기 안으로 들어갑니다. 증착되는 유기층들이 특히 산소와 습기 등과는 접촉할 경우, 전극과 유기층 사이에서 산화, 수소 발생 등으로 저항이 커지거나 전극과 유기물의 들뜸이 생겨 암점(dark spot)이 발생, 소자의 고장과 수명 저하의 원인이 됩니다. 따라서, 진공 분위기 내로 반입된 기판은 유기층들의 연속적인 증착 후, 음극까지 설치된 상태에서 산소와 습기를 차단할 수 있는 보호 구조가 형성되고 나서야 밖으로 나올 수 있죠. 이러한 보호 구조를 형성하는 과정을 봉지 공정이라고 하며, 따라서 증착기는 유기물 증착, 음극 증착, 그리고 봉지 공정 부분까지 연이어 각각의 클러스터가 인라인(in-line) 형태를 형태를 취하고 있습니다.

 

유기물 증착

 

양극 패턴까지 만들어져서 증착기 안으로 반입된 백플레인 기판은 세정 과정을 거친 후 정공 주입층, 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층, 전자 주입층까지의 유기물 증착, 그리고 금속 음극의 증착이 순차적으로 이루어집니다. 특히, 발광층 증착 과정에서는 컬러 구현을 위해 빨강, 초록, 파랑에 대한 발광층들이 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask, FMM)의 부화소용 홀을 통하여 증착됩니다. 특히 FMM을 적용한 RGB 패터닝과 컬러 구현 방식을 조금 더 들어가보죠.

 

RGB 패터닝

 

 

# 참고로 하고 있는 여러 자료들의 제공에 감사를 표하며, 계속 업그레이드 됩니다.

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# 더! 생각해보기

a. OLED 제조 시설의 핵심은 증착기, 증착기의 구조와 각 파트별 역할을 좀 더 세밀히 알아보자

b. 어떤 회사들이 OLED 증착기를 생산, 판매하고 있으며 각기 제품들의 특징은 어디에 있을까

 

 

5-8. OLED, 제조, 증착-복사.pdf
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