OLED 패널의 기본적인 제조는 TFT 백플레인 설치, OLED 형성, 그리고 봉지 공정으로 구분됩니다. 즉, 먼저 기판 위에 백플레인을 설치하고, 다음으로 양극에 해당하는 ITO 막을 증착, 패터닝한 뒤 증착기 내로 이동하여 유기막들을 순차적으로 형성하고, 끝으로 봉지 공정으로 마무리하죠. 편광판, 터치 센서 패널이나 커버 글라스 등의 부가 공정들은 제조 라인이나 모델들마다 다양한 공정과 설계가 적용되죠. 따라서 제조 라인도 TFT 백플레인 라인, OLED 증착 라인, 그리고 봉지 라인으로 이루어지며, 특히 증착 라인과 봉지 라인을 구성하는 각각의 클러스터가 진공 상태에서 운반될 수 있게 인 라인(in-line)으로 연결되어 있어서, 유기물이 증착된 후에 봉지 공정까지 완료되고서야 패널이 외부로 반출됩니다. 물론 산소, 습기 등과 유기물간의 접촉을 피하기 위해서입니다. 이후로 모듈 공정이 이어지며, LCD와는 달리 모듈은 패널부와 구동 회로부만으로 구성됩니다.
이상은 현재의 OLED에 해당하는 능동 구동형 저분자 OLED의 제조 과정을 기본으로 하여 설명된 내용입니다. 수동 구동 OLED의 경우에는 TFT 백플레인 형성이 생략되죠. 플라스틱 기판 위에 만들어지는 OLED의 경우, 캐리어용 유리 기판 위에 폴리이미드를 도포, 경화시킨 뒤 마찬가지로 백플레이 공정, OLED 증착 공정, 그리고 봉지 공정을 거쳐 소자를 완성한 후 유리 기판을 분리, 제거하는 순서로 진행됩니다.
이러한 OLED 제조 공정은 빨강, 초록, 파랑 부화소들의 패터닝 여부, 혹은 패터닝을 크게 필요로 하지 않는 백색 OLED와 컬러 필터 적용, 봉지 구조에 있어서도 금속 캔이나 글라스 리드 방식, 하이브리드 방식, 혹은 박막 봉지 방식 중 어느 것을 택할 것인지, 터치 센서 패널이 패널의 어느 부분에 설치되는지 등에 따라 매우 다양하게 변형, 개선되어 적용이 되고 있습니다. 그리고, 고분자 OLED 제조에는 증착이 아닌, 잉크 젯 공정을 비롯한 용액 공정들이 적용됩니다. 다음으로는 저분자 OLED 제조를 기본으로 하여, 핵심 공정들 위주로 설명을 이어갑니다.
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# 더! 생각해보기
a. OLED의 제조 시설과 공정은 LCD와는 어떤 점들이 다를까
b. 핵심이 되는 시설인 증착기 클러스터에 대하여 좀 더 생각해보자
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