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2-11) MEMS, 공정, 접합 기술 (daum.net)
2-11) MEMS, 공정, 접합 기술
기판들의 접합, 서로 붙이기 웨이퍼, 혹은 기판 접합 기술은 미리 가공된 실리콘 기판이나 유리 기판 등을 서로 접합하여 물리적, 그리고 전기적으로 연결시키는 것을 말합니다. 이러한 기판 접
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2-12) MEMS, 공정, 접합 기술, 정전 열 접합 (daum.net)
2-12) MEMS, 공정, 접합 기술, 정전 열 접합
정전 열 접합, 전기장으로 붙이기 먼저, 정전 열 접합(electrostatic bonding)을 살펴보죠. 이는 1969년에 '발견'되었다고 표현하는데, '발견'이라 함은 체계적인 연구 과정을 통하여 개발하기보다는 무
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2-13) MEMS, 공정, 접합 기술, 직접 접합 (daum.net)
2-13) MEMS, 공정, 접합 기술, 직접 접합
용융 접합, 녹여 붙이기 직접 접합, 사실 용융 접합이 더 정확한 표현이라고 생각합니다. 주로 실리콘 기판에 대해 이루어지므로 실리콘 용융 접합(Silicon Fusion Bonding, SFB)라고도 하죠. 공정은 간
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2-14) MEMS, 공정, 접합 기술, 여러 접합들 (daum.net)
2-14) MEMS, 공정, 접합 기술, 여러 접합들
그 밖의 접합 방법들 접착제 적용 접합 기술들은 실로 여러가지입니다. 재료, 즉 중간 접착제만 보더라도 유리 용액이나 프릿으로부터 금속 공융 합금, 그리고 에폭시 등의 고분자로 다양하며,
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알립니다!
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살며, 사랑하며(5호), 떠나는 풍경 (4호), 하늘 푸르른 날에는 (3호), 미루나무 아래에서 (2호), 강과 구름과 바람과 시간 (1호)~ 출판사 항금리 문학, 그리고 아이들과 환경 재단(출판사, 차일데코)을
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