- 삼성전자 실무협력부서, “Foundry PA2팀”
- 세부 과제명, High-Temperature Magnetic Film Characterizations for Automotive eMRAM Technology
- 총 연구기간; 5년, 인력 목표; 석사 2명, 박사 2명, 기술 성과 목표; 특허 2건, 논문 4건
- 1차년도 연구기간, 2020년 9월 16일 ~ 2021년 9월 15일
제안서 내용
- e-beam litho., 측정과 평가
- MRAM, MTJ(magnetic tunnel juntion) + e-beam
2021년 2월 18일
- KIST 교류, 파견 연구생
2021년 3월 18일, 중간 기술교류회
2021년 5월 20일, 성과 요약
2021년 8월, 1차년도 보고서, 2차년도 계획서
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